在射频低温等离子体发生器硝化过程中，AgiLentTechnologies等离子体质谱仪600低温等离子体发生器的产生和基面偏压是分别控制的，因此可以分别控制基面离子的能量转换和通量。由于工作压力低，用气量也相应低。在氮化过程中，低能量转换的直流辉光放电可以产生NH自由基。这些高活性自由基可用于氮化
