同时，等离子体刻蚀二氧化硅由于绝缘材料的存在，放电过程中形成的壁电荷有效地限制了放电电流的无限增长，避免了高压下的电弧和火花放电。等离子体发生器的惰性气体形成的 DBD 等离子体不含反应性粒子。因此，稀有气体DBD用于材料表面改性时，表面基团的引入主要是通过等离子体在材料表面形成的聚合物自由基，并将
一般排气时间需要几分钟左右。2）将等离子体清洗用气体引入真空室内，陕西真空等离子体处理机供应商保持室内压力稳定。根据清洗材料的不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3）在真空室内电极与接地设备之间施加高频电压，使气体被击穿，辉光放电后产生等离子和等离子体，使真空室内产生的等离子体完