（赫兹）。有三种常用的等离子体激发频率。激发频率为40 kHz的等离子体为超声波等离子体，等离子体温度越高粒子碰撞越少13.56 MHz的等离子体为射频等离子体，2.45 GHz的等离子体为微波等离子体。不同的等离子体产生的自偏压是不同的。CO2氧化CH4制C2烃这一合成路线已有报道，等离子体伤口消
