2、向真空室引入等离子清洗用的气体,邵阳市等离子体球化标准设备价格并使其压力保持在 Pa。根据清洗材质的不同,可分贝选用氧气、氢气、氩气、或氮气等气体。 3、在真空室内的电极和接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体完全笼罩在被处理工