一般来讲，福建等离子处理机供应商的真空plasma表面处理设备所使用的真空泵组分为三大类，一类是旋片真空泵加罗茨真空泵的油式泵组；另一类是螺杆真空泵+罗茨真空泵的干式泵组；还有一类是分子泵加分子泵的机械泵组。大腔体的真空型表面等离子处理设备机需采用真空泵组，并且真空泵组的选择也十分讲究，如果想了解产
