等离子体与材料表面的化学反应主要是利用等离子体中的自由基与材料表面发生反应。化学反应中常用的气体有氧气、氢气、CH4等。这种气体会发生化学反应。等离子体产生高活性自由基自由基的作用主要是化学反应过程中能量转移的“活化”。处于激发态的自由基与表面结合时变得更有活力,磷脂双分子亲水性产生新的自由基。对象