在非热力学平衡的冷等离子体中，硬板等离子蚀刻设备电子具有很高的能量，可以破坏材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应性（大于热等离子体）。中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏聚合物的表面改性提供了合适的条件。冷等离子表面处理会引起材料表面的各种物理和化学变化。对表面进行清洗，去除油脂和辅助添加剂等
