但常规湿法处理的SIC表面存在C杂质残留、表面易氧化等缺点，SMT等离子体表面处理机难以在SIC上形成优良的欧姆接触和低界面MOS结构，并造成严重影响。功率器件性能。表现。 PLASMA清洗机等离子化学气相沉积系统可在低温下产生低能量离子和高电离高浓度高纯度高纯氢等离子体，去除C、OH等杂质。在低温
