(2)工作气体的类型也会影响清洗的plasmaFor例子:Ar2, N2和其他常用的等离子体物理清洗,轰击清洗后产品表面;等离子体形成的活性气体H2 O2和通常由化学清洗打扫,活性自由基与污染物(主要是碳氢化合物)反应(3)等离子体清洗系统的清洗方法会影响清洗(效果)例如，增加亲水性的反应等离子体物
