由于等离子清洗工艺不使用化学溶剂，硅胶等离子体清洗机器基本不含污染物，有利于环境保护。此外，制造成本低，清洗均匀性、再现性、可控性好，易于量产。等离子体，物质的第四态，是一种电离的气态物质，由被剥夺了部分电子的原子和原子电离后产生的正负电子组成。这种电离气体由原子、分子、原子团、离子和电子组成。它对
