等离子刻蚀机又称等离子刻蚀机、等离子表面刻蚀机、等离子表面处理装置、等离子清洗系统等。等离子刻蚀机技术是干法刻蚀的一种常见形式。其原理是暴露于电子域的气体形成等离子体，刻蚀后亲水性等离子体产生等离子体，放出由高能电子组成的气体，形成等离子体或离子。在电场的情况下，释放的力足以粘附到材料或蚀刻表面并与
