真空容器中的电子被感应电场加速，真空式等离子清洗机厂商被电场加速的电子和气体分子被电场加速。剧烈和频繁的碰撞会激发、电离和解离气体分子以形成 ICP 等离子体。 ICP等离子除ECR等离子外，不具有内部电极放电、污染、等离子密度高（~1010cm-3）等特点。它的好处更少，更适用。 ICP等离子体增
