一种新的形式必须有其相应的化学行为。由于等离子体中存在电子、离子、自由基等活性粒子，电路板等离子体表面改性容易与固体表面发生反应，可分为物理或化学反应。利用等离子体对工件（生产过程中的电子元器件及其半成品、零件、基板和印刷电路板）进行化学或物理作用时的表面处理，以去除分子水平（一般厚度为3nm～30
