直径越大，电路板等离子表面处理机单个硅片在单个工艺周期内可以制造的集成电路芯片越多，每个芯片的成本越低。因此，大直径硅片是硅片制造技术的发展方向。然而，硅芯片的尺寸越大，对微电子技术、材料和工艺的要求就越高。分类的单晶生长methodThe单晶硅CZ的过程称为CZ硅(表);单晶硅(MCZ硅)磁控制直
