低温等离子设备是一种小型、廉价的台式等离子清洗机，电芯等离子体清洁配有铰链门、观察窗和精密控制计量阀，用于纳米级表面清洁和活化小样本。电晕等离子处理器是应用能量转换技术，在一定的真空负压下，气体通过电能被转换成活性高的气体等离子体，将气体等离子体温柔地洗涤样品的固体表面，引起样品分子结构的变化从而实
