该装置一般可由真空室、真空泵、高频电源、电极、气体导入系统、工件传动系统、控制系统等组成。常用的真空泵是旋转油泵，电线plasma表面活化高频电源通常使用13.56MHz的无线电波。等离子体清洗是利用等离子体中各种高能量物质的活化作用，将附着在物体表面的污垢彻底剥离去除。以氧等离子体去除物体表面的油
