1.1 基于化学反应的清洗在等离子体和材料表面使用高反应性自由基。有机物等发生化学反应，电线plasma表面处理机又称PE。氧气用于清洁，将非挥发性有机物转化为挥发性形式，产生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的优点是清洗速度快，选择性高，有助于清洗有机污染物。主要缺点是产生的氧化物可以在材料表面重整
