简单而言，电泳漆附着力试验要求主动清洗台是多片一起清洗，的优势在于设备成熟、产能较高，而单晶圆清洗设备是逐片清洗，优势在于清洗精度高，背面、斜面及边缘都能得到有用的清洗，一起防止了晶圆片之间的穿插污染。45nm之前，主动清洗台即可以满意清洗要求，在现在仍然有所使用；而在45以下的工艺节点，则依赖于单
