二、等离子体清洗机工艺处理电池硅晶圆边缘的蚀刻微波等离子体蚀刻机用于去除太阳能电池硅晶圆边缘隔离层和背面的氮化物或PSG(磷酸硅酸盐玻璃)。微波等离子体系统具有射频刻蚀系统无法比拟的高刻蚀速率。另一方面，电池极片等离子体活化机直接微波等离子体过程保持电池温度很低，避免热应力。等离子清洗机已应用于各种
