试验数据表明，电晕机陶瓷电极会老化吗电源参数对STC一次转化率影响较大，在一定范围内电源频率越低、电压越高，对氯硅烷加氢越有利。采用DBD放电产生的电晕发生器安全可靠、经济环保、易于实现。在四氯化硅加氢反应中，常温常压下电晕辅助可使STC的一次转化率达到5%以上。在射频低温电晕发生器氮化中，电晕机陶
