3.绝缘层材料-PLASMA等离子对二氧化硅表面进行改性提高兼容性在器件工作过程中，二氧化硅亲水性的用途电荷主要在半导体与绝缘层的界面处存储和传输。栅极漏电流小，绝缘层材料要求高。即，需要良好的绝缘性。一般使用的绝缘层材料主要是无机氧化物等无机绝缘层材料，其中，有机场效应晶体管一般使用的绝缘层是二氧
