在电晕响应系统中引入少量氧气，电晕机臭氧抽不干净怎么回事在强电场作用下，氧气产生电晕，使光刻胶迅速氧化为挥发性气体，抽走物质。该清洗工艺操作方便，效率高，外观干净，无划痕，有利于保证产品质量。而且它不需要酸、碱和有机溶剂，因此越来越受到人们的重视。。电晕在半导体晶圆清洗工艺中的应用随着半导体工艺的不
