活性气体与非活性气体电晕根据产生电晕所用气体的化学性质，电晕机显示f3可分为非活性气体电晕和活性气体电晕两种。非活性气体如氩(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)、活性气体与氧气(O2)、氢气(H2)等，不同类型气体在清洗过程中的反应机理不同，活性气体电晕具有更强的化学反应活性
