半导体微电子封装中电晕处理工艺及表面活化改性电晕用于芯片封装生产,电晕放电处理恶臭气体可轻松去除生产过程中形成的分子污染,从而显著提高封装的工艺性、可靠性和成品率;在芯片封装中,使用电晕清洗剂在键合前对芯片和载体进行清洗,提高其表面活性,可以有效防止或减少空隙,提高附着力。电晕表面治疗仪在应用上也存