其主要原因是，电容耦合放电等离子体根据所处理的材料，真空泵不会抽出很少的物质，而是粘附在电极表面，如果不能定期清除，长此以往积聚下来的物质，极易被污染物所遮挡。若板极体绝缘层表面形状有污物遮挡，则相当于使电极电容增大，放电功率增加；若电极表面被粉末或碳等污物遮挡，则电极电容减小，放电功率降低，有可能
