Si-SiO2界面态的形成是产生NBTI效应的主要因素，电化铝附着力怎么办而氢气和水蒸气是引起NBTI的两种主要物质。界面处的电化学反应形成施主界面态 Nit，它改变了阈值电压，并且在器件运行期间未产生的氧化物陷阱电荷也改变了阈值电压。为了降低 NBTI 效应，有必要降低 Si-SiO2 界面处的初
