等离子刻蚀机的典型应用有：半导体/集成电路；氮化镓；氮化铝镓/氮化镓；砷化镓/砷化铝镓；砷化镓；磷化铟、铟铝砷/铟镓砷化物（InP InGaAs/InAlAs）；硅；硅锗；氮化硅陶瓷（Si3N4）；硅的溴化氢；硒化锌（ZnSe）；金属；铝；铬；铂；钼；铌；钽；钛；钨；电介质；铟锡氧化物；锆钛酸铅（P
