在早期阶段，玻璃附着力不饱和聚酯树脂高纯度 N2 用于产生等离子体，同时预热印刷板以产生特定的聚合物材料。活化状态；在第二阶段O2中，CF4为原始气体，混合后产生O和F等离子体，与丙烯酸、PI、FR4、玻璃纤维等反应，达到去污的目的。使用 O2。作为第三阶段的原始气体，产生的等离子体和反应残留物清洁
