等离子清洗机不仅可以彻底去除光刻胶等有机物，玻璃附着力不好的原因是还可以活化晶圆表面，提高晶圆表面的润湿性。含有各种形状的狭缝和细长孔的聚合物可以很容易地用等离子清洁器去除。等离子清洗剂可提高对塑料、FPC 板、LED 封装、橡胶、晶圆、手机玻璃和金属材料等各种基材的附着力和附着力。硅片表面光刻胶去
