..等离子体是物质的状态，玻璃盖板等离子体表面清洗器也称为物质的第四状态，不属于一般固液气体的三种状态。当向气体施加足够的能量以使其电离时，它就会变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、反应基团、激发核素（亚稳态）、光子等。将反应性气体引入等离子清洁器的废气中会导致活性物质表面
