干法清洗中发展较快、优势明显的是等离子体清洗，环氧树脂附着力标准表等离子体清洗已逐步在半导体制造、微电子封装、精密机械等行业开始普遍应用。等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙
