3.等离子体处理的表面粗化和刻蚀：通信不同材料利用相应的气体组合，物质亲水性的比较形成具有较强蚀刻性的气相等离子体，与材料表面的本体发生反应，进行物理撞击，使材料本体表面的固体物质气化，生成CO、CO2、H2O等气体，从而达到微蚀刻的目的。主要特点：刻蚀均匀，不改变材料基体特性；它能有效地使材料表面
