常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，附着力强特种漆漆13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。 不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为 0V左右，射频等离子体的自偏压为250V左右，微波等离子体的自偏压
