后一项发现是能够通过各种形式(如电弧放电、辉光放电、激光、火焰或冲击波)将低压气态物质转化为等离子体状态。例如,激光表面改性技术种类氧气、氮气、甲烷和水蒸气等气体分子在高频电场中处于低压状态,在辉光放电的情况下可以分解为加速的原子和分子。带负电荷的原子和分子。以这种方式产生的电子在被电场加速并与周围