2.机械泵是否正常运行?射频电源主板芯片烧坏;处理措施:机械水泵不工作在正常情况下,检查真空压力表值不符合正常的压差值,如果无法达到的压力在正常情况下,这意味着在气体泄漏路径和有必要重新审视是否fixed.4气体路径。打开机器设备右侧面板，漆面附着力标准在机器设备正常运行的情况下，检查射频电源主板芯
