只要等离子能量控制得当，湿法刻蚀设备厂商正确的等离子清洗不会在材料表面产生损伤层，表面质量可以得到保证。轻微的表面损伤也可能增强材料表面的附着力。等离子体清洗技术解决了传统湿式清洗工艺大量消耗水和化学物质的问题，绿色、安全、健康，具有不可估量的社会效益。等离子体技术将得到越来越广泛的应用。等离子清洗
