它的工作原理是在真空下, 然后利用交流电场使工艺气体成为等离子体, 并与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质, 由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去, 从而使工件达到表面清洁活化。等离子清洗是剥离式清洗, 等离子清洗的特点是清洗之后对环境无污染。在线式真空等离子清洗设备是在成熟的
