当放电间隙小于500μm时，温州在线式等离子清洗设备厂商如高频等离子清洗机，放电等离子体从传统的辉光放电结构转变为鞘层为主的结构，鞘层成为放电空间的主体。结果还表明，在以鞘层为主的放电结构中，放电空间整体失去电中性而呈正电性。提高放电频率是一种可行的方法，假设正常的辉光结构由射频等离子体维持，并确保
