ICP等离子体是由受电场加速的电子与气体分子剧烈而频繁的碰撞而形成的，深圳pet附着力树脂厂家从而激发、电离和离解气体分子。ICP等离子体具有ECR等离子体的特点，具有无内电极放电、无污染、等离子体密度高(~1010cm-3)、低成本等优点，使其应用更加广泛。ICP等离子体增强气相沉积(ICPECV
