自由电子与气体分子之间缺乏热平衡，振动导致涂层附着力下降气体温度仅为50-250℃。在电场的作用下，电子、离子、中性和激发态分子之间会发生一系列的相互作用——弹性或非弹性碰撞。在电子与气体分子的弹性碰撞中，只有少量电子能传递给气体分子，气体温度升高。在非弹性碰撞中，电子损失了更多的能量，刺激分子内部
