等离子体处理无机粉体的原理低温等离子体是一种非热平衡等离子体,其粒子能量的参数范围如下:电子(0~20eV),亚稳态粒子(0~20eV),离子(0~2eV),光子(3~40eV)。材料的表面改性需要通过断开或激活材料表面的化学键并形成新的化学键才能实现,这就首先需要低温等离子体中的各类粒子能够具有足