3倍；103K-3&倍；104K，涂层附着力试验机基本达到热力学平衡，具有统一的热力学平衡温度。等离子体状态和参数可由麦克斯韦热力学平衡速度分布、玻尔兹曼粒子能量分布和沙哈方程确定。热等离子体能量密度高，主要用于材料合成、球化、致密化和涂层保护。在低温等离子体中，重粒子的温度只有室温，而电子的温度可
