等离子体的状态和参数可以由麦克斯韦热力学平衡速度分布、玻尔兹曼粒子能量分布和沙阿方程确定。高能等离子体主要用于材料合成、球化、致密化和涂层保护。对于低温等离子体清洗机来说，涂层 附着力检测重颗粒只有在室温下，电子温度才能达到几千度，因此远离热力学平衡，如辉光放电属于低温等离子体。低温等离子体主要用于
