同时，氧等离子刻蚀石墨烯高活性的氧离子可与断裂的分子链发生反应，形成活性基团的亲水表面，从而达到表面活化的目的；有机污染物断键后的元素会与高活性氧离子发生反应，形成CO、CO2、H2O等分子结构，与表面分离，达到表面清洁的目的。氧气主要用于高分子材料的表面活化和有机污染物的去除，但不适宜用于易氧化的
