等离子清洗机用射频或微波方式产生等离子体，浙江等离子除胶机怎么样同时通入氧气或其他气体，等离子体与光刻胶进行反应，形成气体被真空泵抽走 等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子清洗机，浙
