高电压在4到10KV之间。(B)等离子体发生器喷枪:常压低温等离子体发生器喷枪可分为喷射式直喷和旋转式直喷两种。区别在于加工区域不同,流水线plasma蚀刻设备自动化流水线方案可根据用户需求进行组合。控制系统的功能是控制的操作整个常压低温等离子体清洗设备,功率调节,和各种保护整个系统。根据是否与流水