使用等离子化学气相沉积金刚石膜，表面改性设备原则首先需要了解金刚石的成核过程。这一般分为两个阶段。含碳基团到达基体表面，然后分散在基体内部。阶段是到达基质表面的碳。以基体表面缺陷、金刚石子晶等为中心的原子的成核和生长。因此，决定金刚石成核的因素有： 1. 基体数据：由于成核取决于基体表面碳饱和程度和
