简单来说，油墨印刷附着力不好主动式清洗台将多个晶圆一起清洗，优点是设备成熟，生产率高，而单片晶圆清洗设备逐片清洗，优点是清洗精度高，背面、斜面、边缘都可以进行有益清洗，一起防止晶圆之间的穿插污染。45nm之前，主动清洁台可以满足清洁要求，现在仍在使用；而45以下的工艺节点则依赖于单片晶圆清洗设备来满
