图1一种容性耦合等离子体放电现象由于刻蚀进程中杂乱的物理和化学反响，油墨产生附着力的原理 不同中性粒子、带电粒子间的场(电场，流场，力场等)的相互效果，使得plasma刻蚀很难描绘。一些文章中都是针对初学者简略的介绍了等离子体刻蚀中的首要几个进程，可是关于原理性的描绘十分有限。 等离子垃圾处理技术二
