国内等离子刻蚀机厂家介绍的方法是利用嵌段共聚物的不同成分之间不同的相变条件，等离子刻蚀机厂家去除部分成分，达到图案的定义。一个更成功的案例是使用聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯的嵌段共聚物来缩小周期性间距，并通过第一个图案定义实现非常小的直径接触孔。通过首先定义图案然后用嵌段共聚物填充来定义非常小的接触孔
